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國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產業發展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。 該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在硅電容傳感器設計、制造工藝技術、傳感器封裝結構等方面具有創新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術難題，開發研制出完全擁有自主知識產權的新型高性能硅電容差壓傳感器產品，產品精度優于0.075%FS，技術水平達到國內領先、國際一流。（宗瑞） |
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高性能硅電容壓力傳感器通過驗收
發布時間：2011-08-25
來源：中國能源報
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